XRR (X-ray Reflectivity) 晶圆薄膜量测机

镜面XRR（X-射线反射率），为XRD的相关技术，是一种广泛应用在分析薄膜和多层结构特性的工具。 X-射线在非常小的绕射角内散射，可以得到低至几十Ǻ内的薄膜电子密度分布特性。 利用仿真的反射率模式，可以对晶体或者非晶形薄膜以及多层的厚度、界面粗糙度和层密度进行高精确度的测定。

主要应用

• 确定薄膜和多层的厚度、界面粗糙度和密度
• 高精度的薄膜厚度和密度测定
• 测定薄膜或界面的粗糙度
• 测定晶圆薄膜的均匀性
• 测定低介电系数薄膜的孔密度和孔径