XRF 荧光光谱量测机

XRF 是使用高能量X 光或伽玛射线照射样品，使样品组成原子之内层轨域电子被激发成带能量之光电子，使内层轨域产生一个空洞，外层电子会填补内层空缺的电子位置，由于能阶之间的能量差而发射出特性X 光，称为X 光荧光(X-ray Fluorescence，XRF)。配置可为每个设备的各种层提供灵活性和最佳性能适用于高级存储器（DRAM、PCRAM、3D-NAND、MRAM）、逻辑、功率器件和封装成分和厚度测量在计量垫上或直接在设备上（非破坏性方式）